时间：2024-06-15 10:01:46
激光干涉仪可以完成哪些测量
激光干涉仪可以完成以下测量：
1. 机械制造领域中的零部件尺寸误差和形状误差检测。
2. 几何参量高精密测量，如线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等。
3. 精密运动设备导轨的检测，如数控机床、三坐标测量机等设备的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。
4. 同步测量，如龙门机床双轴同步测量。
5. 回转轴的测量与校准。
6. 动态测量与分析，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
7. 误差补偿表生成，根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据。
8. 环境补偿，支持手动或自动进行环境补偿。
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